polysilicon تيار ڪرڻ جو طريقو.

1. لوڊ ڪندي

ڪوٽيڊ ڪوارٽز ڪرسيبل کي هيٽ ايڪسچينج ٽيبل تي رکو، سلڪون خام مال شامل ڪريو، پوءِ گرم ڪرڻ جو سامان، موصليت جو سامان ۽ فرنس جو احاطو لڳايو، فرنس کي خالي ڪريو ته جيئن فرنس ۾ دٻاءُ گھٽجي وڃي 0.05-0.1mbar ۽ ويڪيوم برقرار رکو. آرگن کي هڪ حفاظتي گيس طور متعارف ڪرايو ته جيئن فرنس ۾ دٻاءُ بنيادي طور تي 400-600mbar تي رکي سگهجي.

2. گرم ڪرڻ

فرنس جي جسم کي گرم ڪرڻ لاءِ گريفائيٽ هيٽر استعمال ڪريو، پهرين گريفائٽ حصن جي مٿاڇري تي جذب ٿيل نمي کي خارج ڪريو، موصليت واري پرت، سلکان خام مال وغيره، ۽ پوءِ آهستي آهستي گرم ڪريو ته جيئن ڪوارٽز ڪرسيبل جو گرمي پد 1200-1300 تائين پهچي وڃي.℃. اهو عمل 4-5 ڪلاڪ وٺندو آهي.

3. پگھلڻ

آرگن کي هڪ حفاظتي گيس طور متعارف ڪرايو ته جيئن فرنس ۾ دٻاءُ بنيادي طور تي 400-600mbar تي رکي سگهجي. گرميءَ جي طاقت کي تيزيءَ سان وڌايو ته جيئن ڪرسيبل ۾ گرمي پد 1500 تائين پهچندي℃، ۽ سلڪون خام مال پگھلڻ شروع ٿئي ٿو. اٽڪل 1500 رکو℃پگھلڻ واري عمل دوران جيستائين پگھلڻ مڪمل ٿي وڃي. اهو عمل تقريبا 20-22 ڪلاڪ وٺندو آهي.

4. ڪرسٽل جي واڌ

سلڪون جي خام مال کي پگھلڻ کان پوء، حرارتي طاقت گھٽجي ويندي آهي ته جيئن 1420-1440 تائين ڪرسيبل ڊراپ جي گرمي پد کي وڌايو وڃي℃، جيڪو سلکان جو پگھلڻ وارو نقطو آهي. پوءِ کوارٽز ڪرسيبل آهستي آهستي هيٺ ڏانهن وڌي ٿو، يا موصليت وارو اوزار آهستي آهستي اڀري ٿو، ته جيئن کوارٽز ڪرسيبل آهستي آهستي گرم ڪرڻ واري علائقي مان نڪري وڃي ۽ ماحول سان گرمي مٽاسٽا ٺاهي. ساڳئي وقت، پاڻي کي کولنگ پليٽ مان گذريو ويندو آهي ته جيئن هيٺئين پاسي کان پگھلڻ جي درجه حرارت کي گھٽائي سگهجي، ۽ ڪرسٽل سلڪون پهريون ڀيرو تري ۾ ٺهيل آهي. ترقي جي عمل دوران، سالڊ-مائع انٽرفيس هميشه افقي جهاز جي متوازي رهي ٿو جيستائين ڪرسٽل جي واڌ مڪمل نه ٿئي. اهو عمل تقريبا 20-22 ڪلاڪ وٺندو آهي.

5. annealing

ڪرسٽل جي واڌ مڪمل ٿيڻ کان پوءِ، ڪرسٽل جي هيٺان ۽ چوٽيءَ جي وچ ۾ وڏي درجه حرارت جي درجي جي ڪري، انٽ ۾ حرارتي دٻاءُ موجود ٿي سگھي ٿو، جيڪو سلکان ويفر کي گرم ڪرڻ ۽ بيٽري تيار ڪرڻ دوران ٻيهر ڀڃڻ آسان آهي. . تنهن ڪري، ڪرسٽل جي واڌ مڪمل ٿيڻ کان پوء، سلڪون انگوٽ کي پگھلڻ واري نقطي جي ويجهو 2-4 ڪلاڪن تائين رکيو ويندو آهي ته جيئن سلڪون انگوٽ جي درجه حرارت کي يونيفارم ڪري ۽ حرارتي دٻاء کي گھٽائي.

6. کولڻ

سلڪون انگٽ کي فرنس ۾ داخل ٿيڻ کان پوءِ، حرارتي طاقت کي بند ڪريو، گرميءَ جي موصلي واري ڊيوائس کي وڌايو يا سلڪون انگٽ کي مڪمل طور تي هيٺ ڪريو، ۽ آرگن گيس جو هڪ وڏو وهڪرو فرنس ۾ داخل ڪريو ته جيئن سلڪون انگٽ جي گرمي پد کي آهستي آهستي گهٽجي. ڪمري جي حرارت؛ ساڳئي وقت، فرنس ۾ گئس جو دٻاء تيزيء سان وڌي ٿو جيستائين اهو ماحول جي دٻاء تائين پهچي. اهو عمل تقريبا 10 ڪلاڪ وٺندو آهي.